湖北日报讯 (记者龚雪)1月13日，湖北兴发化工集团(以下简称兴发集团)宜昌新资料工业园区一间100级无尘室内，工作人员正在对超高纯电子级磷酸试剂样品，进行最终的质量检测。记者了解到，该企业与武汉工程大学、中科院等携手攻关，在处理芯片制作过程中湿化学品要害“卡脖子”难题进程中，有了重要打破，出产出的系列湿电子化学品，完成了我省磷化工工业由低端工业级、一般食品级向超高纯电子级的跨过。
“一个指甲壳巨细的芯片上，能够含有数亿个电子元件。芯片制作有数百道工序，需求重复进行光刻、显影、蚀刻、薄膜等工艺。每一道工序完毕后再进行下一道工序之前，都会用到很多的湿电子化学品。”兴发集团副总经理李少平介绍，该项目施行前，我国工业级、食品级磷酸过剩，但超高纯电子级磷酸、高选择性蚀刻液等芯片制作的要害资料，彻底依靠日本、德国等进口，是限制我国芯片工业开展的首要“卡脖子”技能之一。
作为全国最大的精密磷化工企业，兴发集团在2008年就建立研制团队瞄准这个难题，通过10多年不懈努力总算获得打破，该集团与武汉工程大学、中科院携手申报的《芯片用超高纯电子级磷酸及高选择性蚀刻液出产要害技能》项目，荣获2019年度国家科技进步二等奖。获奖后，项目成果在兴发集团进行工业化转化，完成磷酸纯度从“3个9”到“9个9”等级提高，出产出高纯度电子磷酸试剂。“咱们的产品现已占据了80%的国内市场份额，销往三星电子、台积电、中芯世界、华虹宏力等知名企业，并与日本、韩国、中国台湾等地企业竞赛世界市场。”李少平说，该产品的上市也使电子级磷酸进口价格由3150美元/吨下降至1900美元/吨，降幅达39.7%。
在宜昌新资料工业园区C区一间厂房里，记者看到7、8台机器设备正在进行电子级硫酸、硝酸、添加剂等产品智能化混配。兴发集团董事长李国璋介绍，在成功把握电子级磷酸核心技能的基础上，集团将磷酸产品向下流延伸，从而打破了电子级硫酸、氢氟酸等产品的要害技能并能完成工业化。现在园区内，已建成电子级磷酸、电子级硫酸、蚀刻液等3条出产线和若干配套厂房，系列产品销往半导体、液晶面板等制作企业。李国璋说，集团湿电子化学品产能2020年已达到8万吨，现在园区正在规划建造湿电子化学品出产线期工程，进一步扩展产能，十四五期末力求超越30万吨，将为“芯屏端网”工业需求的几种首要湿电子化学品供给量产保证。
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