中微公司日前承受组织调研时表明，公司开发的12英寸高端刻蚀设备已运用在世界闻名客户65纳米-5纳米等先进芯片产线上；一同，公司根据先进集成电路厂商需求，已开宣布小于5纳米刻蚀设备用于若干关键步骤的加工，并取得职业抢先客户的批量订单。此外，电理性等离子刻蚀设备已在多个逻辑芯片和存储芯片厂商产线上量产。
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2023-09-16
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